氣體質(zhì)量流量計(jì)是基于熱擴(kuò)散原理而設(shè)計(jì)的流量?jī)x表.即利用流體流過發(fā)熱物體時(shí),發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系.該系列流量計(jì)的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級(jí)的RTD,一只用來做熱源,一只用來測(cè)量流體溫度,當(dāng)流體流動(dòng)時(shí),兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系,再通過微電子控制技術(shù),將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測(cè)量流量信號(hào)的線性輸出。
氣體質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了流量計(jì)的高精度計(jì)量
2.靈敏度高，能夠?qū)O小的始動(dòng)流量就可以開始計(jì)量
3.在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了80:1甚至更高
4.全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
5.支持多種氣體的測(cè)量，允許客戶對(duì)某些特殊氣體進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定
氣體質(zhì)量流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測(cè)量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時(shí)，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時(shí)，氣體的流動(dòng)將破壞該溫度場(chǎng)的分布，形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場(chǎng)分布。微機(jī)電系統(tǒng)流量計(jì)芯片上的傳感器將測(cè)量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，由一個(gè)專門的電路變送器對(duì)此信號(hào)進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對(duì)傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布所產(chǎn)生的擾動(dòng)不同，因而能測(cè)量氣體的質(zhì)量流量或總流量。
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